采用超聲波方法進(jìn)行流量檢測(cè)的方法應(yīng)用和發(fā)展在近一百年內(nèi)，1912年，R. A. Fessenden首先發(fā)明了水下聲波換能器，使人們確定了采用聲學(xué)技術(shù)進(jìn)行流量測(cè)量的可行性。1928年9月，Rutten在一篇專利中提出了可以用聲波信號(hào)的傳播時(shí)間差來(lái)進(jìn)行流速測(cè)量，這是最早采用時(shí)差法測(cè)量流體流量的文獻(xiàn)，但是由于當(dāng)時(shí)的時(shí)間測(cè)量技術(shù)達(dá)不到所需要的足夠高的測(cè)量精度，所以最終沒有能夠真正實(shí)現(xiàn)該方法。1939年，Irving Wolff等提出了使用相位法來(lái)進(jìn)行氣體流量測(cè)量，這對(duì)于超聲波流量計(jì)測(cè)量氣體流量方法的發(fā)展是一大進(jìn)步。在1945年，J. W. Gray提出使用時(shí)差法來(lái)測(cè)量氣體流速，為之后對(duì)于時(shí)差法氣體流量計(jì)的研發(fā)與制作奠定了基礎(chǔ)。但是由于時(shí)間測(cè)量技術(shù)問題，隨后的很長(zhǎng)時(shí)間，超聲波流量計(jì)的研制都局限在實(shí)驗(yàn)室研究狀態(tài)，沒有能夠進(jìn)入實(shí)際應(yīng)用中去。
一直到20世紀(jì)70年代之后，隨著集成電子技術(shù)的迅速發(fā)展，時(shí)間測(cè)量精度得到了較大的提高，為超聲波流量計(jì)的研制提供了基礎(chǔ)，科研人員研制出各種性能完善的超聲波流量計(jì)，并大量應(yīng)用于實(shí)際場(chǎng)所。到了20世紀(jì)80年代之后，超聲波數(shù)字技術(shù)的出現(xiàn)和發(fā)展，使得超聲波模擬技術(shù)逐漸被其給替代，人們通過各種技術(shù)的應(yīng)用，進(jìn)一步提高了超聲波流量計(jì)在流量測(cè)量時(shí)的準(zhǔn)確度，其產(chǎn)品的種類和數(shù)量逐漸增加，在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用及比重也在慢慢增大。
1989年G. A. Jackson等人提出了采用多聲道的方式進(jìn)行超聲波流量測(cè)量的方法，相比較于傳統(tǒng)的單聲道超聲波流量計(jì)，多聲道超聲波流量計(jì)的測(cè)量精度得到了提高。在這之后，多聲道（大于等于兩個(gè)聲道）超聲波流量計(jì)漸漸地進(jìn)入科研人員的研究范圍，其應(yīng)用也在慢慢增加。相比于單聲道流量計(jì)測(cè)量中采集速度信息不全面，流場(chǎng)適應(yīng)相差的問題，多聲道超聲波流量計(jì)能夠進(jìn)一步提高流量計(jì)測(cè)量精度。
我國(guó)研發(fā)超聲波流量計(jì)起步相較國(guó)外比較晚，但也取得了一定的成果，從20世紀(jì)60年代國(guó)內(nèi)以上海自動(dòng)化研究所和北京大學(xué)等研究機(jī)構(gòu)為代表的開始研究超聲波流量檢測(cè)技術(shù)，之后經(jīng)過二十多年的發(fā)展，國(guó)內(nèi)各研究機(jī)構(gòu)通過引進(jìn)外國(guó)先進(jìn)技術(shù)，加以學(xué)習(xí)改進(jìn)，慢慢的開始生產(chǎn)出具有一定水平的超聲流量計(jì)。隨著國(guó)內(nèi)各種能源項(xiàng)目的實(shí)施，我國(guó)流量計(jì)行業(yè)正處于高速發(fā)展階段。目前國(guó)內(nèi)很多高校和儀器儀表公司都在進(jìn)行氣體超聲波流量計(jì)的研究，并且研制出一批高精度超聲波流量計(jì)，但是目前國(guó)內(nèi)的研究多集中在單聲道流體超聲波計(jì)設(shè)計(jì)，并且多應(yīng)用在液體流體的流量測(cè)量，與國(guó)外水平還有較大的差距。
