檢查流量儀表故障的原則是先工藝后儀表。由于工藝的原因，工藝負荷變化；工藝的實際流量太小超過了儀表測量死區；干飽和蒸汽變成了兩相流的濕蒸汽；過熱蒸汽變為飽和蒸汽，蒸汽相變將導致密度變化；工藝管道滿足不了儀表安裝要求等因素，都會使流量測量出現誤差或出現流量顯示不正常的問題。因此，應與工藝聯系，確認工藝正常后，再對流量儀表進行檢查和處理。
與其他工藝參數相比，流量參數的波動較頻繁，為了判斷流量參數的波動原因，可將控制系統切換至手動觀察波動情況，如流量曲線波動仍較頻繁，一般為工藝原因，如波動減小，一般是儀表原因或參數整定不當引起的。流量的顯示值在較長時間內不變化，可能是儀表有問題，因為流量參數是不可能很穩定的。
流量顯示值變為最大時，對流量控制系統，可手動操作調節閥，看流量能否降下來，如果流量仍然降不下來，大多是儀表的原因，先檢查現場儀表有無故障。
流量測量、控制系統的流量顯示值變為最小，除工藝原因外（如停車、停機泵、工藝管堵塞等），通常流量顯示值是不應該為最小的，否則故障大多是由儀表原因造成的。
出現流量顯示幾乎為零時，最好向工藝操作人員詢問并落實原因，如果工藝條件正常，就應檢查現場儀表。變送器導壓管的正管堵塞、變送器正壓室泄漏；浮子流量計浮子卡住；橢圓齒輪流量計的橢圓齒輪卡、過濾網堵塞、發訊簧片失效等，都會造成流量顯示幾乎為零的故障。對流量控制系統，應切換至手動操作狀態，然后觀察調節閥的狀態。如閥門開度為零，則大多為儀表或控制系統的原因，如控制器或調節閥單元有故障。
差壓式流量計出故障時，首先檢查導壓管、閥門及管路附件，有無泄漏、堵塞現象，然后再檢查變送器及相關附件，如隔離器、安全柵等，如果現場儀表都正常，再檢查控制室相關儀表。
檢查變送器或轉換器的故障時，要先檢查現場的儀表及附件，無電流輸出，檢查供電電源是否正常，接線有無斷路，安全柵是否正常，輸出電流有偏差，可用標準表測量來判斷。輸出電流波動，在排除工藝的原因后，應檢查阻尼時間的設置是否合適。電磁流量計應檢查前后法蘭及殼體的接地是否正常。
流量顯示偏高、偏低、顯示不正確，先檢查儀表及變送器的零點是否正確；然后再檢查參數的設置是否正確，如流量標定系數、流量單位、量程等參數。導壓管路有無泄漏；導壓管路中的氣體帶液，或者液體帶氣；流量計的直管段長度不足；傳感器安裝不合理等；把有開方功能及不具有開方功能的變送器混用了，也會出現以上的故障現象。
沒有流量有顯示是指工藝管道已確定沒有流量了，但儀表仍有流量顯示值。先檢查變送器及儀表的零位是否正確；然后再檢查參數的設置是否正確。還應檢查變送器的安裝位置是否存在液柱靜壓力的影響問題，必要時可通過遷移來消除影響。變送器出現故障也會出現有輸出電流的問題，可通過檢查來判斷。
